[发明专利]硅异质结太阳能电池的制备方法及其太阳能电池

摘要

本发明实施例提供一种硅异质结太阳能电池的制备方法，包括：提供硅片到反应器腔室中；提供包含氧的第一气体到所述反应器腔室中，用于将含氧的所述第一气体分子附着到反应器腔室内壁上；对所述反应器腔室进行抽真空至气压小于0.1Pa；提供包含硅和氢的第二气体到所述反应器腔室中；以及依次将含有氢氧的硅化合物沉积到所述硅片的表面后将含有氢硅的化合物沉积到所述硅片的表面，形成氧含量梯度减少的钝化膜层，从而在硅异质节太阳能电池片上形成氧含量在靠近硅片表面的一侧向远离硅片表面的一侧逐渐减少的钝化膜层，使钝化膜层中的氧含量呈梯度分布，使电池性能得到了优化，提升了电池的光电转换效率和电池的稳定性。