[发明专利]一种用于立式热处理炉的开关门组件及立式热处理炉有效
| 申请号： | 201910461429.3 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN112011831B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 孙志坤 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于立式热处理炉的开关门组件，所述开关门组件包括转向轴和连接座，所述连接座包括互相连接的配合部和连接部，所述连接部用于与工艺腔密封组件相连，所述配合部上形成有配合孔，所述转向轴的第一端设置在所述配合孔内，所述开关门组件还包括连接件，所述连接件将所述配合部与所述转向轴的第一端固定连接。本发明的开关门组件能够避免配合部与转向轴在连接位置发生相对移动，从而避免立式热处理炉的工艺腔密封组件与工艺腔之间出现对接偏差，并避免配合部与转向轴摩擦产生颗粒。本发明还提供一种包括上述开关门组件的立式热处理炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 立式 热处理 开关 组件 | ||
【主权项】：
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