[发明专利]可溶性掩膜真空镀制备光伏电池栅线电极的方法

摘要

本发明公开了一种可溶性掩膜真空镀制备光伏电池栅线电极的方法，用可水溶的镂空掩膜，贴在光伏电池表面，然后在放入真空镀膜设备中，镀上一层金属电极膜层后，揭下镂空掩膜，光伏电池表面留下金属栅线电极。镂空掩膜可以多次使用，达到使用次数后，该镂空掩膜放入水中溶解掩膜，得到要回收的金属，经过清洗后，可以重新用于镀膜靶材的制作。本发明专利的栅线加工材料种类范围广，可以是银、铜、铝等；栅线电极的厚度、宽度可控；栅线电极的材料致密性好，和电池表面的结合强度高。另外，通过可溶性掩膜还可以对多余的沉积金属进行回收和重新利用，大幅度节约了成本。

主权项

1.一种可溶性掩膜真空镀制备光伏电池栅线电极的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，制作水溶性的镂空掩膜：用水溶性聚合物，制备镂空的掩膜，该掩膜的镂空图形与待制作的金属栅线的形状和尺寸一致；步骤2，将水溶性镂空的掩膜贴在光伏电池表面，并放入真空设备中；步骤3，用真空镀膜的方法，在上述的光伏电池表面镀上一层栅线电极金属材料；步骤4，镀膜结束后，把镂空的掩膜从光伏电池片上取下，留下金属栅线电极；步骤5，下一批次光伏电池的栅线电极依次重复上述步骤2至步骤4；步骤6，镂空掩膜材料及表面金属回收：当镂空的掩膜表面积累的镀膜金属材料达到一定厚度，不再适合继续作为掩膜进行真空镀膜栅线电极时，将该镂空的掩膜放入水中，经过溶解后，留下金属层，并进行回收，用于镀膜靶材的加工；水溶性聚合物溶液，经过水分蒸发后，得到可重复使用的水溶性掩膜材料。