[发明专利]应用于等离子体系统的方法及相关等离子体系统有效
| 申请号： | 201910464334.7 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN112017931B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 卫晶;韦刚;王鹏一 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种应用于等离子体系统的方法，所述等离子体系统具有腔室、置于所述腔室内的下部电极以及通过匹配电路耦接至所述下部电极的射频源，所述等离子体系统用于对置于所述下部电极上的工作件进行加工。所述方法包括:启动所述射频源；增加所述射频源的射频功率，并对应所述匹配电路的默认位置于所述下部电极产生输出功率；及当第一条件满足时，以第一趋势调整所述射频功率并以增加所述输出功率与所述射频功率的比值的第二趋势调整所述匹配电路来满足第二条件。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 等离子体 系统 方法 相关 | ||
【主权项】：
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