[发明专利]一种光瞳补偿装置和光刻机有效
| 申请号： | 201910464486.7 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN112015053B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 赵峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光瞳补偿装置和光刻机，所述光瞳补偿装置包括支架主体、驱动装置和补偿机构，所述驱动装置设置在所述支架主体上，所述驱动装置用于驱动所述补偿机构在光瞳面上移动，所述补偿机构用于补偿光瞳均匀度，所述补偿机构包括补偿主体，以及设置在所述补偿主体上的补偿件，所述补偿主体与所述支架主体滑动连接，所述补偿件用于补偿光瞳均匀度。本发明中的光瞳补偿装置可在光瞳面上对光瞳均匀度进行补偿，并且补偿机构对光瞳均匀度的补偿程度可调，从而可针对不同的光瞳均匀度补偿要求调节补偿机构的位置，使光瞳补偿装置的耦合效率高。此外，所述光瞳补偿装置结构简单，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 补偿 装置 光刻 | ||
【主权项】：
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