[发明专利]一种偏振线栅及其制作方法有效
| 申请号： | 201910465634.7 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN112014916B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李玉龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种偏振线栅及其制作方法，偏振线栅包括：基底；栅格膜层，位于所述基底的一侧，所述栅格膜层包括多个等宽等距且平行排列的线栅单元，所述线栅单元沿第一方向延伸；所述栅格膜层用于吸收偏振方向平行于所述第一方向的光，还用于透过偏振方向垂直于所述第一方向的光；所述栅格膜层包括锌铬碲材料或者砷化镓材料。本发明实施例提供一种偏振线栅及其制作方法，以实现提供硬度更大的半导体材料的偏振线栅，本发明实施例提供的偏振线栅在深紫外波段具有大的消光比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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