[发明专利]柔性显示基板及其制造方法有效
| 申请号： | 201910465977.3 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110137186B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 宋亮;季雨菲;廖鹏宇;许家豪;程浩;赵吾阳;姜龙;欧飞;彭军 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张琛 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 提供一种柔性显示基板及其制造方法。所述柔性显示基板的制造方法包括：在柔性衬底基板上形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层远离所述柔性衬底基板的一侧形成刻蚀阻挡层；在所述第一绝缘层远离所述柔性衬底基板的一侧形成覆盖所述刻蚀阻挡层的第二绝缘层；以及通过一次构图工艺在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中分别形成第一开口和第二开口，使得所述第一开口在所述柔性衬底基板上的正投影落入所述第二开口在所述柔性衬底基板上的正投影内，以在所述第一开口与所述第二开口的连接位置形成台阶部。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 显示 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性显示基板的制造方法，包括：在柔性衬底基板上形成第一绝缘层，所述第一绝缘层至少覆盖所述柔性显示基板的弯折区；在所述第一绝缘层远离所述柔性衬底基板的一侧形成刻蚀阻挡层，所述刻蚀阻挡层位于所述弯折区中；在所述第一绝缘层远离所述柔性衬底基板的一侧形成覆盖所述刻蚀阻挡层的第二绝缘层；以及通过一次构图工艺在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中分别形成第一开口和第二开口，使得所述第一开口和所述第二开口均位于所述弯折区中，并且所述第一开口在所述柔性衬底基板上的正投影落入所述第二开口在所述柔性衬底基板上的正投影内，以在所述第一开口与所述第二开口的连接位置形成台阶部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
