[发明专利]基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法

摘要

基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法，该方法首先将待测样品置于一个腔体内，用抽气泵将腔体内气体抽至真空；然后向真空腔内通入混合气体，当腔体内压力达到一个大气压，记录混合气体的组成比例；在该气体环境下，检测待测样品的激光诱导击穿光谱信号，并计算信号的相对标准偏差，作为重复性的指标；之后不断改变混合气体的比例进行检测，计算对应的相对标准偏差；比较各种混合气体环境下光谱信号的相对标准偏差，得到最优的混合气体组成比例，作为待测样品的气体环境。本发明可显著降低光谱信号的相对标准偏差，提高激光诱导击穿光谱的重复性，进而提高LIBS的测量精度。具有简单实用、经济实惠等特点。

主权项

1.一种基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法，其特征在于该方法包括如下步骤：1)将待测样品置于一个腔体内，密封腔体；2)利用抽气泵抽吸腔体内气体；当腔体内的压力达到真空状态时，停止抽气；3)向抽完气的真空腔体内通入混合气体；该混合气体由惰性气体、空气、氮气和二氧化碳中的至少两种组成；记录几种混合气体的组成比例；在通入混合气体的过程中，当腔体内的压力达到一个大气压时，停止通气，使待测样品处于该混合气体环境下；4)在该混合气体环境下，使用激光诱导等离子光谱系统对待测样品进行检测，得到待测样品的激光诱导击穿光谱信号，并计算信号的相对标准偏差RSD₁，作为重复性的指标：其中，σI表示该混合气体环境下光谱信号的标准偏差，表示该混合气体环境下光谱信号的平均值；5)不断改变混合气体中几种气体的组成比例，重复步骤2)‑4)，在新的混合气体环境下，检测待测样品，得到对应的光谱信号，计算对应的相对标准偏差RSD_i；6)比较各种混合气体环境下样品光谱信号的相对标准偏差，找出最小值；将这个最小值对应的组成比例作为最优比例，采用该气体环境对样品进行检测，从而提高激光诱导击穿光谱的重复性。