[发明专利]一种实时相移共光路干涉显微装置和方法在审
| 申请号： | 201910467962.0 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110095085A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 郭荣礼;张维光;王凡;韩峰;于洵 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及反射式样品的定量精确测量技术领域，具体涉及一种实时相移共光路干涉显微成像装置和方法。为了克服现有技术存在的结构复杂、视场减小的缺点。本发明采用的具体结构包括沿主光轴方向依次设置的激光器、偏振片、扩束准直器、分光棱镜、透镜、显微物镜、偏振分光棱镜、样品，所述1/4波片和相机依次垂直设置于分光棱镜的反射光路上，1/4波片的光轴与主光轴方向成45度角放置；所述相机为偏振相机，像素前覆盖有微偏振片阵列，上述激光装置的使用方法，先将样品设置于分光棱镜的透射光路上，且位于显微物镜的工作距离处，然后按照一定的方法完成。 | ||
| 搜索关键词： | 分光棱镜 主光轴方向 显微物镜 共光路 波片 相移 相机 透镜 测量技术领域 偏振分光棱镜 显微成像装置 扩束准直器 垂直设置 工作距离 激光装置 偏振相机 微偏振片 显微装置 依次设置 激光器 反射光 反射式 偏振片 透射光 干涉 光轴 减小 视场 像素 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种实时相移共光路干涉显微装置，其特征在于：包括沿主光轴方向依次设置的激光器(1)、偏振片(2)、扩束准直器(3)、分光棱镜(4)、透镜(5)、显微物镜(6)、偏振分光棱镜(7)、样品(8)；1/4波片(10)和相机(11)依次垂直设置于分光棱镜(4)的反射光路上，1/4波片的光轴与主光轴方向成45度角放置；所述相机(11)为偏振相机，像素前覆盖有微偏振片阵列。
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