[发明专利]一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置有效
| 申请号： | 201910469599.6 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110197784B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李娜;冯伟群;胡冬冬;程实然;陈兆超;侯永刚;王铖熠;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 石艳红 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，所述离子束刻蚀系统包括反应腔体和用于测量反应腔体的内部真空度的真空测量工具，所述反应腔体壁上设置有通气接口，所述真空测量工具连接在通气接口上；所述保护装置包括塞在通气接口内的金属颗粒吸附块，还包括设置在金属颗粒吸附块外壁与通气接口之间的卡环；所述卡环上开设有若干通气孔。本发明通过金属颗粒吸附块和卡环，阻隔了固体颗粒和离子束经通气接口进入真空测量工具；卡环上设置有若干通气孔，保证真空测量工具和反应腔体通气。同时强磁铁材质的金属颗粒吸附块可吸附金属颗粒，保证了金属颗粒不会经通气孔穿过。本发明通过法兰安装固定，便于拆装清洗维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 刻蚀 系统 真空 测量 工具 保护装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，所述离子束刻蚀系统包括反应腔体和用于测量反应腔体的内部真空度的真空测量工具，所述反应腔体壁上设置有通气接口，所述真空测量工具连接在通气接口上，其特征在于：所述保护装置包括设置在通气接口处的透气性阻隔装置，所述透气性阻隔装置阻隔固体颗粒和离子束进入真空测量工具。
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