[发明专利]谐振薄膜层、谐振器和滤波器有效
| 申请号： | 201910470766.9 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110190826B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 林志东;谢祥政;罗捷;尚荣耀;朱庆芳;杨濬哲;侯汉成 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京超成律师事务所 11646 | 代理人： | 吴迪 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请提供一种谐振薄膜层、谐振器和滤波器，该谐振薄膜层包括第一电极层，设置在第一晶圆上；压电层，设置在所述第一电极层上；第二电极层，设置在所述压电层上；可调整层，设置在所述第二电极层上，配重图案，实施于所述可调整层上设置在所述第二电极层上，用于调整所述配重图案的不同重量，以调整所述谐振薄膜谐振薄膜层的不同工作频率。本申请实现了根据需要调整谐振薄膜层的配重图案，进而使不同的谐振薄膜层具有不同的工作频率。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 薄膜 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种谐振薄膜层，其特征在于，包括：第一电极层，设置在第一晶圆上；压电层，设置在所述第一电极层上；第二电极层，设置在所述压电层上；可调整层，设置在所述第二电极层上，配重图案实施于所述可调整层上，用于调整所述配重图案的不同重量，以调整所述谐振薄膜层的不同工作频率。
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