[发明专利]基于谐振频率自动搜索机制的石英晶片测控方法

摘要

本发明公开了基于扫频数据机制的石英晶片测控方法，包括如下步骤：初始化数据、谐振频率自动搜索流程、基于扫频数据机制的跟踪测频流程、惯性导航流程；本发明的优点在于：石英晶片研磨在线测频的自动搜索方法，具有抗干扰性强、运行稳定、统计参数多样、全自动化的晶片研磨。

主权项

1.基于谐振频率自动搜索机制的石英晶片在线研磨的测控方法，其特征在于，包括如下步骤：初始化数据步骤、谐振频率自动搜索流程步骤、基于扫频数据机制的跟踪测频流程步骤、惯性导航流程步骤；101)初始化数据设置和检测步骤：对异常监控、统计控制、测频策略和研磨程序的参数进行初始化设置，并对研磨机控制模块进行自检，确保设备控制正常；102)谐振频率自动搜索流程步骤：步骤101)设置后，通过谐振频率自动搜索、自动搜索频率切换参数设置和自动搜索完成数据处理，来实行自动搜索；谐振频率自动搜索包括数据初始化，测频和扫频参数设置，在自动搜索中DDS数据采集未完成，则继续进行自动搜索谐振频率，进行DDS数据采集，如果采集完成，则进行频率切换时间是否到达的判断，如果到达，且当前搜索频段的起始频率已经小于石英晶片设置的研磨起始频率，则进入自动搜索完成数据处理流程，否则进行自动搜索频率切换参数设置流程，对参数进行重新设置，继续数据采集，如果未到达，则继续进行数据采集；103)跟踪测试流程步骤：通过步骤102)自动搜索成功后，进入跟踪测试，其包括进行参数初始化，扫频参数设置、进行DDS扫频，扫频数据的处理，数据的进一步分析处理和对参数的重新设置；104)惯性导航流程步骤：在步骤103)处理异常数据时启动惯性导航，根据相应数据运用模拟参数弥补部分数据的缺失，再将补充完的数据写入DDS，返回步骤103)中的DDS扫频。