[发明专利]传输装置、传输方法及光刻机有效
| 申请号： | 201910472941.8 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN112015054B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 马方波;廖飞红;吴福龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种传输装置、传输方法及光刻机，传输装置包括两个等待位、一个加工位、两个交接位、一个输入输出位、两个载具以及两个传输具，两个载具被配置为依次进入加工位，以使所载的工件得以加工；一个载具处于所述加工位时，另一个处于等待位的载具被配置为与处于交接位的传输具对工件进行交接；传输具被配置为进入所述输入输出位，以输入/输出工件。如此配置，一方面，仅采用了一套输入输出机构，降低了传输装置的成本，另一方面，由于载具通过与传输具的交接，能方便快速地获得待加工的工件以及将加工完毕的工件输出，产率较高，能有效降低生产节拍。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 装置 方法 光刻 | ||
【主权项】：
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