[发明专利]带多层突起结构的谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 201910473085.8 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN111010103A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置，且具有电极连接部；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：顶电极的边缘设置有在基底的厚度方向上层叠的至少第一突起结构和第二突起结构，第一突起结构设置于顶电极上，第二突起结构设置于第一突起结构之上；第一突起结构具有第一宽度，第二突起结构具有第二宽度，第一宽度与第二宽度的比值在7:1‑9:7的范围内。本发明还涉及一种滤波器，以及一种具有该滤波器的电子设备。本发明还涉及一种体声波谐振器的制造方法，包括步骤：选择第一突起结构的第一宽度与第二突起结构的第二宽度，使得第一宽度与第二宽度的比值在7:1‑9:7的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 突起 结构 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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