[发明专利]太阳能电池的背面钝化结构及其制备方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池的背面钝化结构及其制备方法，背面钝化结构设置于所述太阳能电池的硅片衬底背面；背面钝化结构包括叠层钝化介质层；具体包括自所述背面的表面依次向外设置的第一氧化硅膜层、氧化铝钝化膜层、第一氮化硅减反射层、第二氧化硅膜层，本发明通过在硅片衬底与氧化铝之间引入氧化硅，有利于增强氧化铝固定负电荷，增强了氧化铝的场钝化和化学钝化效果；而氧化铝层叠加高折射率氮化硅，和高折射率氮化硅上的低折射率膜层设计提升钝化效果，同时光学上也能降低光的反射率，从而有效提升电池的转换效率。

主权项

1.一种太阳能电池的背面钝化结构，其特征在于，所述背面钝化结构设置于所述太阳能电池的硅片衬底背面；所述背面钝化结构包括叠层钝化介质层；所述叠层钝化介质层包括自所述背面的表面依次向外设置的第一氧化硅膜层、氧化铝钝化膜层、第一氮化硅减反射层、第二氧化硅膜层。