[发明专利]一种微型光谱测试系统及测试方法有效
| 申请号： | 201910480087.X | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110261333B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 陈沁;文龙;南向红 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 刘巧霞 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型光谱测试系统，包括光束准直模块和光电探测模块，其中被测光由光束准直模块进行准直然后投射到光电探测模块；所述光电探测模块包括可旋转的半导体基底层和覆盖在半导体基底层上的金属或类金属材料薄膜，光电探测模块向光面制备成光栅。本发明还公开了一种光谱测试方法，包括步骤：准直待测光谱的光束；转动光电探测模块，记录并分析每个转动角度对应输出的电信号，对应于光谱中波长的光强信息，实现待测光谱中各个波长光的光强信息测试。本发明具有高光谱分辨率、大工作波长范围和高集成度的光谱测试能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 光谱 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微型光谱测试系统，其特征在于，包括光束准直模块和光电探测模块，其中被测光由光束准直模块进行准直然后投射到光电探测模块；所述光电探测模块包括可旋转的半导体基底层和覆盖在半导体基底层上的金属或类金属材料薄膜，光电探测模块向光面制备成光栅。
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