[发明专利]一种倾斜入射相移干涉仪和直角棱镜大面测量方法有效
| 申请号： | 201910484615.9 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110553580B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 王子瀚 | 申请（专利权）人： | 南京英特飞光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/0209 | 分类号： | G01B9/0209;G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种倾斜入射相移干涉仪和直角棱镜大面测量方法。本干涉仪结构包括相移干涉仪主机、一体化载物工作台以及一对参考平晶。通过特定的入射角，本干涉仪在屏幕上所显示的干涉条纹，与常规正入射干涉仪的条纹完全一致，适合目视观察与快速判读。本干涉仪可以测量常规正入射干涉仪无法直接测量直角棱镜大面面形，无需对直角面进行涂覆。在直角棱镜加工中具有重要应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 倾斜 入射 相移 干涉仪 直角 棱镜 大面 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种倾斜入射相移干涉仪，其特征在于，包括干涉仪(1)、透射平晶(2)、反射平晶(3)、直角棱镜测试载物台(4)；所述透射平晶(2)垂直于干涉仪出射波前；直角棱镜(5)放置于直角棱镜测试载物台(4)上，所述直角棱镜可相对于直角棱镜测试载物台(4)旋转；所述透射平晶(2)与反射平晶(3)分立于直角棱镜(5)两侧；其中干涉仪(1)出射波前垂直通过透射平晶(2)，倾斜入射到直角棱镜(5)大面上，然后波前被反射到反射平晶(3)；反射平晶(3)垂直反射波前并使反射波前沿原光路返回，并与透射平晶(2)的反射波前形成干涉条纹而被干涉仪(1)接收。/n
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