[发明专利]一种紫外偏振分光棱镜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910487168.2 | 申请日： | 2019-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN110286435A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 曾爱军;周如意;朱玲琳;胡敬佩;张冲;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种紫外偏振分光棱镜及其制备方法，其特点在于，由两块长度相同且宽度相同的长方体棱镜胶合而成，且其中一块长方体棱镜的胶合面依次镀有引入光栅结构的偏振分光膜和二氧化硅保护膜。所述引入光栅结构的偏振分光膜由涂胶、曝光、显影刻蚀而成的介质光栅与膜系结构蒸镀得到。本发明具有消光比高、入射角范围大、稳定性好等优点，主要应用在紫外、深紫外波段。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振分光棱镜 长方体棱镜 偏振分光膜 光栅结构 制备 二氧化硅保护膜 胶合 深紫外波段 介质光栅 膜系结构 引入 胶合面 入射角 消光比 刻蚀 涂胶 显影 蒸镀 曝光 应用 | ||
【主权项】：
1.一种紫外偏振分光棱镜，其特征在于，由包括两块长度相同且宽度相同的长方体棱镜胶合而成，且其中一块长方体棱镜的胶合面依次镀有引入光栅结构的偏振分光膜和二氧化硅保护膜。
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