[发明专利]一种轻型大口径连续薄膜变形镜及其制造方法有效
| 申请号： | 201910491942.7 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110146977B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋维涛;刘红忠;王赫男;牛东;雷彪 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种轻型大口径连续薄膜变形镜及其制造方法，变形镜包括镜面层，镜面层上侧镀有反射镀膜层，镜面层下方粘接有活性层，活性层上下两侧分别覆盖有上电极层和下电极层，反射镀膜层、镜面层、覆盖有电极层的活性层构成变形镜本体，变形镜本体通过夹持组件固定，上电极层和下电极层通过电极引线与外电源连接；制造方法是将镜面层刻出扇形阵列凹槽；再将上电极层溅射在镜面层下侧，将压电复合材料铺在上电极层的下侧；然后将下电极层溅射在活性层下侧，将下电极层刻成图案化电极；最后将反射镀膜层溅射在镜面层上侧，然后将电极引线连接在上电极层和下电极层上；本发明减轻变形镜的质量、降低制造成本、改善初始面形、提高工作精度和像差补偿能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轻型 口径 连续 薄膜 变形 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种轻型大口径连续薄膜变形镜，包括镜面层(1)，其特征在于：镜面层(1)的上侧均匀镀有反射镀膜层(2)，镜面层(1)的下方粘接有两面覆盖有电极层的活性层(4)，活性层(4)上下两侧分别覆盖有上电极层(3)和下电极层(5)，反射镀膜层(2)、镜面层(1)、两面覆盖有电极层的活性层(4)构成变形镜本体，变形镜本体通过夹持组件(6)固定，上电极层(3)和下电极层(5)通过电极引线与外电源连接。
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