[发明专利]显影槽及控制显影槽的显影液导电率的方法在审

专利信息
申请号: 201910492197.8 申请日: 2019-06-06
公开(公告)号: CN110262196A 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 罗进成 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本揭示提供了显影槽及控制显影槽的显影液导电率的方法。所述显影槽用于显示面板的显影制程。所述显影槽包括:槽体、第一管路及第二管路。所述槽体用以容置显影液。所述第一管路用以补充新显影液至所述槽体的中间区段。所述第二管路用以补充水份至所述槽体的底部。所述显影槽能在补充所述新显影液前自动补充所述水份来控制所述显影槽的初期导电率,达到改善所述初期导电率偏高的问题。
搜索关键词: 显影槽 显影液 导电率 槽体 水份 补充 显示面板 中间区段 自动补充 容置 显影 制程
【主权项】:
1.一种显影槽,所述显影槽用于显示面板的显影制程,其特征在于,包括:槽体,用以容置显影液,其具有顶部、与所述顶部相对的底部、及夹设于所述顶部与所述底部之间的中间区段;第一管路,用以补充新显影液至所述槽体的所述中间区段;以及第二管路,用以补充水份至所述槽体的所述底部。
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