[发明专利]缺陷检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201910492841.1 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110132996A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 许平康;方桂芹 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种缺陷检测装置及其检测方法，缺陷检测装置包括：基座，用于放置待检测晶圆；第一光源，用于向所述待检测晶圆发射入射光，所述入射光经待检测晶圆的反射形成第一反射光；第一数据处理单元，用于通过第一反射光获取偏振信息；偏振装置，用于根据所述偏振信息将所述第一反射光转化为第一光学信号；第二数据处理单元，用于通过第一光学信号获取待检测晶圆的缺陷信息。所述缺陷检测装置的检出率得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷检测装置 晶圆 检测 反射光 数据处理单元 光学信号 偏振信息 入射光 偏振装置 缺陷信息 检出率 反射 光源 发射 转化 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：基座，用于放置待检测晶圆；第一光源，用于向所述待检测晶圆发射入射光，所述入射光经待检测晶圆的反射形成第一反射光；第一数据处理单元，用于通过第一反射光获取偏振信息；偏振装置，用于根据所述偏振信息将所述第一反射光转化为第一光学信号；第二数据处理单元，用于通过第一光学信号获取待检测晶圆的缺陷信息。
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