[发明专利]二次电子探测器、带电粒子光学成像设备及探测方法有效
| 申请号： | 201910494648.1 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN110133032B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张旭 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 储振 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请揭示了一种二次电子探测器、包含该二次电子探测器的带电粒子光学成像设备及探测方法。二次电子探测器，自二次电子探测器所形成的探测区对称中心径向向外形成至少三个相互隔离的圆环探测区，以通过所述圆环探测区接收自样品表面出射的二次电子。通过本申请所揭示的二次电子探测器及带电粒子光学成像设备，提高了对样品基于对二次电子探测所形成的检测图像表征样品本征形貌的准确度，克服了样品表面颗粒、凸起和边缘等特征处所导致的图形失真的缺陷，并具有不同方位角的二次电子的探测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 二次电子 探测器 带电 粒子 光学 成像 设备 探测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二次电子探测器，其特征在于，自二次电子探测器所形成的探测区对称中心径向向外形成至少三个相互隔离的圆环探测区，以通过所述圆环探测区接收自样品表面出射的二次电子。
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