[发明专利]光束弯折器有效
| 申请号： | 201910496639.6 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN110581047B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 村上武司 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光束弯折器，能够提高由光束弯折器弯曲后的电子射线的集束性。在沿着通过光束弯折器(12)的内侧曲面(17)与外侧曲面(19)之间的电子射线的行进方向的第一剖面中，设定成内侧曲面的曲率和外侧曲面的曲率分别恒定，内侧曲面的曲率中心与外侧曲面的曲率中心一致。在与电子射线的行进方向垂直的第二剖面中，设定成内侧曲面的曲率和外侧曲面的曲率分别恒定，内侧曲面的曲率中心与外侧曲面的曲率中心一致。第二剖面中的内侧曲面的曲率半径被设定得比第一剖面中的内侧曲面的曲率半径大，第二剖面中的外侧曲面的曲率半径被设定得比第一剖面中的外侧曲面的曲率半径大。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 弯折器 | ||
【主权项】：
1.一种光束弯折器，包括具有内侧曲面的内电极和具有外侧曲面的外电极，用于借助于电场使通过所述内侧曲面与所述外侧曲面之间的电子射线弯曲，所述电场通过对所述内电极和所述外电极分别施加不同的电位而产生，该光束弯折器的特征在于，/n设定成：在沿着通过所述内侧曲面与所述外侧曲面之间的所述电子射线的行进方向的第一剖面中，所述内侧曲面的曲率和所述外侧曲面的曲率分别恒定，所述内侧曲面的曲率中心与所述外侧曲面的曲率中心一致，/n设定成：在与所述电子射线的行进方向垂直的第二剖面中，所述内侧曲面的曲率和所述外侧曲面的曲率分别恒定，所述内侧曲面的曲率中心与所述外侧曲面的曲率中心一致，/n所述第二剖面中的所述内侧曲面的曲率半径被设定得比所述第一剖面中的所述内侧曲面的曲率半径大，/n所述第二剖面中的所述外侧曲面的曲率半径被设定得比所述第一剖面中的所述外侧曲面的曲率半径大。/n
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