[发明专利]一种恒温液槽有效
| 申请号： | 201910497912.7 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN112058332B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 杜留洋;韩强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B01L7/02 | 分类号： | B01L7/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种恒温液槽。所述恒温液槽包括液体循环模块、换热模块以及控制模块，其中，液体循环模块为密闭结构；液体循环模块包括水箱、液体管道、水泵以及隔热板，换热模块包括第一热电组件和第二热电组件，第一热电组件和第二热电阻件分别紧贴于液体管道中回字形管道相对的两个侧壁上，控制模块与水泵、第一热电组件以及第二热电组件连接。本发明实施例提供的技术方案，使得水箱内的液体的温度能够得到及时的调节，提升了水箱内液体温度的均匀性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 恒温 | ||
【主权项】：
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