[发明专利]一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法有效
| 申请号： | 201910498587.6 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN110182756B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 徐杰;张广玉;祁红岩;李豫龙 | 申请（专利权）人： | 百色学院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H02N11/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 533000 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法，属于纳米马达技术领域。在水平设置的硅片上滴加多个PS球，在每个PS球上均通过掠射角沉积的方法沉积一段Si体，在每段Si体远离PS球的一端面均蒸镀Au层，撤去硅片，即可获得光驱微纳马达。本发明能在可见光光照下运动，而且能在去离子水和有机溶剂中运动，同时具有比较可观的运动速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环节 可见光 光驱 马达 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：步骤一：在水平设置的硅片(2)上滴加多个PS球(1)；步骤二：在每个PS球(1)上均通过掠射角沉积的方法沉积一段Si体(3)；步骤三：在每段Si体(3)远离PS球(1)的一端面均蒸镀Au层(4)；步骤四：撤去硅片(2)，即可获得光驱微纳马达(5)。
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