[发明专利]一种CdS薄膜化学水浴沉积装置及其制备方法

摘要

本发明公开了一种CdS薄膜化学水浴沉积装置及其制备方法，包括：沉积炉，其一端设置有药剂溢流槽，另一端设置有废液收集系统，所述沉积炉底部设置有沉积床，其上连接有多组可转动的阻液滚轮，所述沉积床上设置有带真空吸附的加热板；柔性不锈钢衬底，其连接在设置于沉积炉两端的收卷机构和放卷机构上并紧贴加热板；所述药剂溢流槽和多组可转动的阻液滚轮均位于柔性不锈钢衬底的上方；溶液储存罐，所述溶液储存罐通过输液管道与药剂溢流槽连接；所述输液管道上依次连接有输出计量泵、高精度流量计、螺旋混药器和快速加热器。本发明的一种CdS薄膜化学水浴沉积装置具有降低薄膜针孔数量，提高膜层均匀性和致密性的优点。

主权项

1.一种CdS薄膜化学水浴沉积装置，其特征在于，包括：沉积炉，其入口端内壁上设置有第一药剂溢流槽和第二药剂溢流槽，出口端设置有废液收集系统，所述沉积炉的内壁上连接有多组可转动的阻液滚轮，所述沉积炉底部设置有沉积床，所述沉积床上设置有带真空吸附的加热板；柔性不锈钢衬底，其紧贴在带真空吸附的加热板上，且所述柔性不锈钢衬底的一端连接在沉积炉出口端的收卷机构上，另一端连接在沉积炉入口端的放卷机构上；所述第一药剂溢流槽、第二药剂溢流槽和多组可转动的阻液滚轮均位于柔性不锈钢衬底的上方，且与柔性不锈钢衬底保持一定间距；溶液储存罐，其包括CdSO₄溶液储存罐，NH₃·H₂O溶液储存罐、DI水溶液储存罐、SC(NH₂)₂溶液储存罐；所述CdSO₄溶液储存罐、NH₃·H₂O溶液储存罐、DI水溶液储存罐的输液管道均分别与第一输液管道连接，且第一输液管道与第一溢流槽相连，所述第一输液管道上设置有螺旋混药器和第一快速加热器；所述SC(NH₂)₂溶液储存罐，通过第二输液管道与第二溢流槽连接；所述第二输液管道上连接有第二快速加热器；所述CdSO₄溶液储存罐，NH₃·H₂O溶液储存罐、DI水溶液储存罐、SC(NH₂)₂溶液储存罐的输液管道上均连接有输出计量泵和高精度流量计。