[发明专利]一种变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台

摘要

本发明公开了一种变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台，基座上有两个Y向导轨支撑凸台，每个Y向导轨支撑凸台外侧有Y向交叉滚子导轨；基座中间有位移输入机构，采用双平行板式柔性铰链及并联对称结构，中央为方形平台，方形平台中心有Z轴压电陶瓷驱动器，Z轴压电陶瓷驱动器上有球头帽；位移输入机构外侧有相互垂直X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器；中间连接层中心为矩形通孔，设置一对X向导轨支撑凸台，每个X向导轨支撑凸台外侧有X向交叉滚子导轨；方形平台上有摩擦块，摩擦块中心有方形位移台，方形位移台顶端有摩擦垫片。本发明适用于微电子制造、生物医疗工程、微纳操作及超精密加工等领域。

主权项

1.一种变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台，其特征在于，包括由下至上依次设置的基座(1)、中间连接层(9)和滑动平台(12)，所述基座(1)和中间连接层(9)之间设置有Y向交叉滚子导轨(8)，所述中间连接层(9)和滑动平台(12)之间设置有X向交叉滚子导轨(11)；所述基座(1)设置为矩形结构，所述基座(1)上表面对称设置有两个相互平行的Y向导轨支撑凸台(2)，每个Y向导轨支撑凸台(2)外侧均设置有一组Y向交叉滚子导轨(8)；所述基座(1)中间设置有位移输入机构，采用双平行板式柔性铰链(3)及并联对称结构实现运动导向及两自由度解耦，所述位移输入机构中央为方形平台(4)，所述方形平台(4)中心加工有圆形槽和螺栓孔，所述圆形槽内设置有Z轴压电陶瓷驱动器(7)，所述Z轴压电陶瓷驱动器(7)顶端设置有球头帽(17)；所述位移输入机构外侧设置有两个相互垂直的空槽，两个空槽内分别设置有X轴压电陶瓷驱动器(5)和Y轴压电陶瓷驱动器(6)；所述中间连接层(9)设置为矩形结构，中心设置有矩形通孔，所述中间连接层(9)上表面对称设置有一对相互平行的X向导轨支撑凸台(10)，且矩形通孔位于两个X向导轨支撑凸台(10)之间，每个X向导轨支撑凸台(10)外侧均设置有一组X向交叉滚子导轨(11)；所述位移输入机构的方形平台(4)顶部固定有摩擦块(13)，所述摩擦块(13)穿过中间连接层(9)的矩形通孔设置；所述摩擦块(13)采用镂空结构，中心位置加工有方形位移台，并在上半部设置有双层平行板式铰链结构，所述方形位移台顶端设置有摩擦垫片(14)。