[发明专利]一种用于微流控芯片中微液滴切割的方法有效

专利信息
申请号: 201910503848.9 申请日: 2019-06-12
公开(公告)号: CN110152748B 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 阎文博;高开放;张雄;吴巧添;昝知韬;高作轩 申请(专利权)人: 河北工业大学
主分类号: B01L3/00 分类号: B01L3/00;B23K26/38
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300401 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种用于微流控芯片中微液滴切割的方法。利用光刻技术,实现X切铌酸锂晶片表面的图案化,利用真空蒸镀技术在图案化的微区域蒸镀铁膜,然后利用退火工艺实现微流控芯片的制作。利用聚焦激光光斑微液滴边缘的移动,可实现微液滴的切割。此技术发明弥补了微流控芯片技术中缺少对微液滴切割手段的不足,实现了微液滴的切割路线可调,切割时间可控,整个切割过程可实时观测,这对生物医药和生命科学领域的发展具有重大意义。
搜索关键词: 一种 用于 微流控 芯片 中微液滴 切割 方法
【主权项】:
1.一种用于微液滴切割的微流控芯片,其特征在于:利用光刻技术,实现X切铌酸锂表面的图案化,利用真空蒸镀技术在图案化的微区域蒸镀铁膜,然后利用退火工艺实现微流控芯片的制作。
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