[发明专利]一种共聚焦拉曼-光电流测试系统在审
| 申请号： | 201910506433.7 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110132939A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 文煜;王勤生;许晨旭;杨永强;赵卫芳;程小豹 | 申请（专利权）人： | 江苏省特种设备安全监督检验研究院 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N23/227 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214174 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种共聚焦拉曼‑光电流测试系统，涉及光电测试及拉曼测试领域，该系统中主控设备通过激光器、分光器、显微物镜和光谱仪的配合可以采集测试台上的待测试样品的拉曼光谱信号，同时通过电学探针和锁相放大器的配合可以采集该待测样品的光电流信号，从而使得该系统可以分别或同时对待测试样品进行拉曼测试和光电流测试，从而对光电器件的物理特性及器件性能进行快速精确表征，为光电器件性能的提升提供分析依据。 | ||
| 搜索关键词： | 光电流 测试系统 测试样品 光电器件 共聚焦 测试 采集 拉曼光谱信号 光电流信号 锁相放大器 光谱仪 测试领域 待测样品 光电测试 器件性能 物理特性 显微物镜 主控设备 激光器 电学 分光器 探针 配合 分析 | ||
【主权项】：
1.一种共聚焦拉曼‑光电流测试系统，包括待测试样品，其特征在于，所述共聚焦拉曼‑光电流测试系统包括主控设备、测试台、激光器、分光器、显微物镜、光谱仪、电学探针以及锁相放大器；所述待测试样品放置在所述测试台上，所述显微物镜正对所述测试台上的所述待测试样品，所述激光器发出的激光信号经所述分光器分光后被所述显微物镜聚焦于所述待测试样品上，所述待测试样品产生的拉曼信号被所述显微物镜收集并耦合到所述光谱仪，所述光谱仪电性连接所述主控设备；所述测试台上接有所述电学探针，所述电学探针与所述待测试样品的电极相接触，所述电学探针连接所述锁相放大器，所述锁相放大器连接至所述主控设备，所述主控设备分别或同时对所述待测试样品进行拉曼测试和光电流测试。
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