[发明专利]三级位移放大二自由度柔顺精密定位平台

摘要

本发明涉及微纳操作、精密定位技术领域，尤其涉及一种三级位移放大二自由度柔顺精密定位平台，包括基座、动平台以及两个结构完全相同的三级放大结构；压电陶瓷通过预紧螺栓固定在所述基座上，压电陶瓷输出端的半球和移动块上的圆弧箱连接，所述移动块的两侧分别通过第一平行叶片柔性板簧与第一固定基座连接；所述三级放大结构包括常规杠杆、L型杠杆和半桥式结构。整个定位平台采用线切割技术加以整体式的制造，克服了传统机械装置所带来的装配误差；采用柔性铰链作为传动副消除了传统运动副的摩擦问题；采用三级位移放大结构，有效提高了压电陶瓷在X、Y方向上的平动输出范围，其位移放大比远大于一般的二级位移放大定位平台。

主权项

1.一种三级位移放大二自由度柔顺精密定位平台，其特征在于：包括基座、动平台以及两个结构完全相同的三级放大结构；压电陶瓷通过预紧螺栓固定在所述基座上，压电陶瓷输出端的半球和移动块上的圆弧箱连接，所述移动块的两侧分别通过第一平行叶片柔性板簧与第一固定基座连接；所述三级放大结构包括常规杠杆、L型杠杆和半桥式结构；三级放大结构是轴对称结构，压电陶瓷位于三级放大结构的轴线上，常规杠杆通过第一圆形柔性铰链与基座固定，常规杠杆通过第一直角柔性铰链与所述L型杠杆连接，所述常规杠杆的输出端通过第二直角柔性铰链与所述半桥式结构连杆的一端连接，所述半桥式结构连杆的另一端通过第三直角柔性铰链与所述半桥式结构的输入端连接；所述L型杠杆的另一端通过所述第二圆形柔性铰链与第二固定基座连接，L形杠杆的输入端通过第一传力杆与所述移动块连接；所述动平台采用空心设计的“回”字，所述动平台四周分别通过第二传力杆、第三传力杆与第二叶片柔性板簧、半桥式结构的输出端连接，且在半桥式结构的输出端两侧增加了第三平行叶片柔性板簧，来保证半桥式结构的输出为直线运动。