[发明专利]一种钝化剂及其钝化方法和制备半导体薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种钝化剂，包括为咪唑盐类离子液体、吡啶盐类离子液体、季铵盐类离子液体、季鏻盐类离子液体、吡咯烷盐类离子液体、哌啶盐类离子液体、功能化离子液体、二茂铁类有机物、金属酞菁化合物、金属乙酰丙酮化合物、有机金属、卤键化合物以及有机硼化物中的至少一种。本发明还公开一种使用该钝化剂制备半导体薄膜的方法。本发明将钝化剂沉积在半导体薄膜与其接触的界面材料之间，和/或加入到制备半导体薄膜的原材料中，为钝化剂与半导体薄膜材料提供了一个均匀稳定的反应环境，可在制备过程中控制半导体薄膜的晶体生长，极大地改善了半导体薄膜的稳定性。