[发明专利]气体传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种气体传感器(10)，其具有由氧离子传导性的固体电解质构成的结构体(14)、形成于结构体(14)的气体导入口(16)、与气体导入口(16)连通且具备预备泵电极(82)的预备空腔(21)、与预备空腔(21)连通且具备主泵电极(42)的主空腔(18a)、以及与主空腔(18a)连通且具备测定电极(62)的测定空腔(20)，预备泵电极(82)的至少表面是由针对氨与氧的反应的活性较低的材料来形成的。

主权项

1.一种气体传感器，是在氧的存在下对多个成分的浓度进行测定的气体传感器(10)，其中，所述气体传感器具备：/n结构体(14)，其至少由氧离子传导性的固体电解质构成，/n气体导入口(16)，其形成于所述结构体，且用于供被测定气体导入，/n预备空腔(21)，其具有预备泵电极(82)，且与所述气体导入口连通，/n主空腔(18a)，其具有泵电极(42)，且与所述预备空腔连通，/n副空腔(18b)，其具有辅助泵电极(56)，且与所述主空腔连通，/n测定空腔(20)，其具有测定电极(62)，且与所述副空腔连通，/n特定成分测定机构(104)，其对所述测定空腔内的特定成分的浓度进行测定，/n预备氧浓度控制机构(106)，其基于所述预备泵电极的电压而对所述预备空腔内的氧浓度进行控制，/n主氧浓度控制机构(100)，其基于所述主泵电极的电压而对所述主空腔内的氧浓度进行控制，以及/n目标成分获取机构(110)，基于所述预备氧浓度控制机构的第1动作时的来自所述特定成分测定机构的传感器输出与所述预备氧浓度控制机构的第2动作时的来自所述特定成分测定机构的传感器输出之差、以及所述各传感器输出中的一方，来获取氨和氧化氮的浓度，/n所述预备泵电极的至少表面是由针对氨与氧的反应的活性较低的材料来形成的。/n