[发明专利]可见光热反射测温装置有效
| 申请号： | 201910510537.5 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110243759B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王大正;刘珠明;郑利兵;司维康 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/63;G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李钦晓 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了可见光热反射测温装置，包括照明光路，用于为待测样品提供照明脉冲信号；样品激励模块，用于为所述待测样品施加激励脉冲信号；成像模块，用于捕获所述待测样品反射的照明脉冲反射信号，获取所述待测样品在所述激励脉冲信号的激励下的热过程图像；其中，所述成像模块在同一曝光周期内捕获多个激励脉冲信号的同一相位对应的所述照明脉冲反射信号；所述成像模块在不同曝光周期捕获的所述照明脉冲反射信号对应的所述激励脉冲信号的相位不同。本发明实施例通过可见光热反射测温装置可以实现半导体器件的热过程图像，并通过减少预设时长，减少照明脉冲信号与激励脉冲信号的预设相位差，提升热成像过程的时间精度，大幅提升了时间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 可见 光热 反射 测温 装置 | ||
【主权项】：
1.可见光热反射测温装置，其特征在于，包括：照明光路(3)，用于为待测样品(5)提供照明脉冲信号；样品激励模块(6)，用于为所述待测样品(5)施加激励脉冲信号；成像模块(2)，用于捕获所述待测样品(5)反射的照明脉冲反射信号，获取所述待测样品(5)在所述激励脉冲信号的激励下的热过程图像；其中，所述成像模块(2)在同一成像曝光周期内捕获多个激励脉冲信号的同一相位对应的所述照明脉冲反射信号；所述成像模块(2)在不同成像曝光周期捕获的所述照明脉冲反射信号对应的所述激励脉冲信号的相位不同。
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