[发明专利]一种新型铌酸锂光学波导晶片及其制备方法在审
| 申请号： | 201910512827.3 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110133802A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 李萍;史云玲;刘丹 | 申请（专利权）人： | 天津领芯科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/122 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300400 天津市北辰区*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种新型铌酸锂光学波导晶片，包括：铌酸锂晶片和光学波导，所述铌酸锂晶片为光学级晶体，其晶向为X切Y传或Z切Y传或X切Z传或Y切Z传等四种中的一种，所述光学波导为氧化锌扩散铌酸锂光学波导。另外，还提供了两种铌酸锂光学波导晶片的制备方法。本发明所提出的氧化锌扩散铌酸锂光学波导具有如下优势：(1)能够同时传输TE和TM两种偏振模式，具有比钛扩散光学波导更高的光损伤阈值，更适合应用于需要传输较高光功率的光传输系统；(2)具有较高的光损伤阈值，可以同时传输两种偏振模式，不存在其中一种偏振模式被滤波的现象；(3)制备工艺简单、成品率高、成本低，更适合于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 光学波导 铌酸锂 偏振模式 晶片 铌酸锂晶片 光损伤 氧化锌 传输 制备 光传输系统 光学级晶体 扩散 高光功率 制备工艺 成品率 钛扩散 晶向 滤波 应用 生产 | ||
【主权项】：
1.一种新型铌酸锂光学波导晶片，包括：铌酸锂晶片(1)和光学波导，其特征在于，所述铌酸锂晶片(1)为光学级晶体，其晶向为X切Y传或Z切Y传或X切Z传或Y切Z传四种中的一种，所述光学波导为氧化锌扩散光学波导(2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津领芯科技发展有限公司，未经天津领芯科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910512827.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
