[发明专利]信息处理装置、判断方法、程序、光刻系统和制造方法有效
| 申请号： | 201910514039.8 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110609450B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 宝田洋佑;三浦勇介 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供信息处理装置、判断方法、程序、光刻系统和制造方法。该信息处理装置包括：获取单元，其被构造为，获取在由用于通过应用多个处理条件来形成图案的光刻装置执行光刻处理的状态下收集的多条收集数据；分类单元，其被构造为，基于处理条件对获取的数据进行分类；判断单元，其被构造为，通过判断收集数据是否落在基于处理条件指定的容许范围内，来判断在获取的收集数据中发生了异常。 | ||
| 搜索关键词： | 信息处理 装置 判断 方法 程序 光刻 系统 制造 | ||
【主权项】：
1.一种信息处理装置，其包括：/n获取单元，其被构造为，获取在如下状态下收集的多条收集数据，在该状态下，由用于通过应用多个处理条件来形成图案的光刻装置执行光刻处理；/n分类单元，其被构造为，基于处理条件对获取的数据进行分类；/n判断单元，其被构造为，通过判断收集数据是否落在基于处理条件指定的容许范围内，来判断在获取的收集数据中发生了异常。/n
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