[发明专利]一种用于光刻设备的气液分离装置

摘要

本发明涉及一种用于光刻设备的气液分离装置。本发明中上端盖与下端盖与外壳构成气体缓冲腔，气体缓冲腔内设置多个微孔膜组件；上端盖盖板与上端盖形成液体缓冲腔；下端盖盖板与下端盖形成气液缓冲腔；下端盖盖板上设置流体入口，上端盖盖板上设置流体出口；下端盖上开有多个入液通孔分别与多个微孔膜组件入液口连接，上端盖上开有多个出液通孔，分别与多个微孔膜组件出液口连接；本发明利用微孔膜选择性阻挡气体和液体的原理，实现气液两相流的分离效果。该气液分离装置避免了现有的气液分离装置压力波动大所引起的管路振动问题，同时具有气液分离效率高、设备占用体积小、温度影响小的优点。

主权项

1.一种用于光刻设备的气液分离装置，包括上端盖、上端盖盖板、微孔膜组件、下端盖、下端盖盖板、外壳；其特征在于：所述的上端盖与下端盖分别设置在外壳的两侧，与外壳构成气体缓冲腔；一个或多个微孔膜组件设置在气体缓冲腔内，微孔膜组件的两端分别与上端盖和下端盖同轴过盈配合安装；上端盖盖板设置在上端盖外侧，与上端盖形成液体缓冲腔；下端盖盖板设置在下端盖外侧，与下端盖形成气液缓冲腔；所述的下端盖盖板上设置流体入口，作为气液缓冲腔入液口；在上端盖盖板上设置流体出口，作为液体缓冲腔排液口；来自浸没控制单元的气液两相流经所述流体入口流入气液分离装置，经所述流体出口流出气液分离装置；下端盖上开有一个或多个入液通孔，一个入液通孔连通一个微孔膜组件入液口与气液缓冲腔；上端盖上开有一个或多个出液通孔，一个出液通孔连通一个微孔膜组件出液口与液体缓冲腔；入液通孔个数、出液通孔个数、微孔膜组件个数相同；所述的外壳或上端盖或下端盖上设置有抽气口，抽气口与真空泵相连接，使气体缓冲腔的压强小于大气压；所述微孔膜组件包括支撑结构和微孔膜，支撑结构为轴向贯通结构，支撑结构壁面上具有连通结构内外部空间的开口，两端分别作为微孔膜组件入液口与微孔膜组件出液口；在支撑结构壁面内侧或外侧覆盖微孔膜，微孔膜遮蔽支撑结构壁面上的所有开口，微孔膜开口的线度小于10微米。