[发明专利]半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法在审
| 申请号： | 201910516318.8 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN112083680A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 张瑶 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法，该半导体工艺电源控制方法包括：接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率；同时启动计时器，开始计时；判断计时时长是否达到定时时间段；若所述计时时长达到了所述定时时间段，则控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。通过本发明，可以有效控制电源，避免工艺损失。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 半导体 工艺 电源 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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