[发明专利]检测设备及检测方法在审
| 申请号： | 201910518119.0 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN111665259A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;黄有为;崔高增 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测设备及检测方法，其中，检测设备，包括：第一探测光源，用向待测物第一探测区发射第一探测光；探测装置，用于接收所述第一探测区返回的第一探测光；离焦测量系统，用于测量待测物相对于检测系统的离焦度，包括：第二探测光源，用于向待测物第二探测区发射第二探测光；接收组件，用于接收经所述第二探测区返回的第二探测光，并根据返回的第二探测光获取第二探测区离焦度，所述第二探测区与所述第一探测区至少部分重合；调节装置，用于根据所述离焦度调节待测物和检测系统之间的相对位置关系。所述检测系统能够增加检测结果的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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