[发明专利]一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器在审
| 申请号： | 201910519746.6 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN110124596A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 阮诗伦;樊利芳;李朝阳;张留新;王新宇 | 申请（专利权）人： | 郑州大工高新科技有限公司;大连理工大学重大装备设计与制造郑州研究院 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01J4/00;B01F5/06 |
| 代理公司： | 郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙) 41130 | 代理人： | 边鹏 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市自贸试验区郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器，包括：多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、气体均匀分布板、反应装置，多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、反应装置依次连接，在反应装置后部也连接有一个螺旋状气体混合管，气体均匀分布板设置在反应装置的前部，导流装置位于气体均匀分布板的正前方，导流装置由导流罩和导流块组成，导流块为锥形结构，导流块的尖端位于螺旋状气体混合管的出气口处，气体均匀分布板上设有大小不一且规则排列的进气孔。其有益效果是：区别于传统的通气方式，气体由直管直接进入反应炉，本装置首先使多种气体在螺旋状管道内进行螺旋流动混合；在进入反应室前通过导流装置，改变气流原有流动方向，使混合气体均匀的向四周分散，最后经过气体均匀分布板，进一步使气体更加均匀的进入反应室内。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀分布板 导流装置 气体混合管 反应装置 螺旋状 导流块 气体均匀混合 气相沉积装置 多通管 分布器 螺旋状管道 出气口处 大小不一 规则排列 混合气体 螺旋流动 通气方式 依次连接 锥形结构 正前方 传统的 导流罩 反应炉 反应室 进气孔 前部 直管 室内 流动 | ||
【主权项】：
1.一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器，其组成包括：多通管，其特征在于：还包括螺旋状气体混合管、导流装置、气体均匀分布板、反应装置，所述多通管、所述螺旋状气体混合管、所述导流装置、所述反应装置依次连接，在所述反应装置后部也连接有一个所述螺旋状气体混合管，所述气体均匀分布板设置在所述反应装置的前部，所述导流装置位于所述气体均匀分布板的正前方，所述导流装置由导流罩和导流块组成，所述导流块为锥形结构，所述导流块的尖端位于所述螺旋状气体混合管的出气口处，所述气体均匀分布板上设有规则排列的进气孔。
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