[发明专利]一种聚焦可调的多焦点并行显微成像装置

摘要

本发明公开了一种聚焦可调的多焦点并行显微成像装置，包括：激光器、反射镜、半波片、上物镜、电机、双层微球结构、样品台、下物镜、探测器。所述双层微球结构包括上玻片和下玻片，所述上玻片下表面、下玻片上表面分别有利用聚焦离子束刻蚀的环状排列的第一层微球和第二层微球，第一层微球和第二层微球结构完全一致；所述上玻片与一个电机相连，通过控制电机可使上玻片绕轴转动，改变双层微球结构之间的夹角，从而改变多焦点的焦距，多焦点并行工作，完成样品轴向的扫描。本发明结构简单，搭建方便，轴向焦点可调，多焦点并行扫描，提高了在样品厚度方向的扫描速度，减弱了光漂白。