[发明专利]一种光刻设备及其控制方法、装置和存储介质

摘要

本发明实施例公开了一种光刻设备及其控制方法、装置和存储介质，光刻设备包括两个运动台；运动台的工作区包括曝光区和非曝光区，光刻设备的控制方法包括：控制一运动台在曝光区进行第一工序的过程中，控制另一运动台在非曝光区进行第二工序，且当第一工序完成时，非曝光区的运动台运动到非曝光区和曝光区的交界处，第一工序包括曝光，因曝光时间较长，进而可以使得在非曝光区进行第二工序的运动台向曝光区运动的速度较慢，进而不会造成光刻设备和承载两个运动台的导轨的振动，则不会对正在曝光的运动台造成串扰，有利于提高曝光精度，并有利于提高光刻设备的产率。