[发明专利]供给装置、涂覆装置以及供给方法有效
| 申请号： | 201910525682.0 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110899051B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 芳川典生;水野博喜;瀬川邦彦;伊藤隆介;后藤顺一 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;C03C17/00;B01D19/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 罗英;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够效率良好地去除粘度高的液体中的溶解气体的供给装置、包括所述供给装置的涂覆装置、以及供给方法。所述供给装置(30)是用于将高粘度的处理液供给至供给目标(22)的供给装置。所述供给装置(30)包括对贮存处理液的槽(31)与所述供给口(320)进行流路连接的送液配管(32)、以及从下游侧依序介插在送液配管中的主泵(33)、脱气单元(34)、辅助泵(35)及过滤器(36)。辅助泵(35)在脱气单元(34)的上游侧，朝向脱气单元对处理液进行加压。脱气单元具有收容在壳体内部的多个中空纤维膜、及对中空纤维膜的外侧空间进行减压的减压机构。由此，能够效率良好地去除粘度高的处理液中的溶解气体，并且能够使装置小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 供给 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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