[发明专利]基板处理设备在审
| 申请号： | 201910525909.1 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112105151A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 陈安顺 | 申请（专利权）人： | 群翊工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;B65G29/02;B65G49/05 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 刘兴;冷文燕 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种基板处理设备，其包含：直送移载装置及两个基板处理装置。直送移载装置用以使多个固持架沿直送路径移动，而使各个固持架由入料位置移动至出料位置。各个固持架用以固持基板。两个基板处理装置用以对多个基板分别进行不同的预定处理。各个基板处理装置设置于直送路径上，包含：多个固持架及回送移载装置。回送移载装置用以使位于出料位置的多个固持架，沿回送路径移动至入料位置，回送路径与直送路径共同形成一循环路径。基板处理装置设置于循环路径上。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 设备 | ||
【主权项】：
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