[发明专利]一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统及对接方法在审
| 申请号： | 201910528386.6 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110257904A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 潘毅;吴迪;李恩;闵泰 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统及对接方法，包括分子束外延系统主体、不间断电源、移动车架和涡旋式干泵，移动车架上设涡旋式干泵、控制器和连接控制器的不间断电源，分子束外延系统主体设在移动车架顶部，并与涡旋式干泵连通；分子束外延系统主体包括一个真空腔体和连通在真空腔体下方侧壁的分子泵和小型溅射离子泵，依次连通在真空腔体上方侧壁的反射式高能电子衍射仪的电子枪、玻璃观察窗、传样杆、观察屏和用于连接晶体振荡仪的接口；在真空腔体的底壁和小型溅射离子泵上方两侧分别设有分子束蒸发源及接口；在真空腔体上下侧壁设有手阀和支架。该系统能够在不破坏真空的情况下短距离移动，为处于不同地点的超高真空表征系统提供样品。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔体 分子束外延系统 超高真空 移动车架 涡旋式 干泵 不间断电源 溅射离子泵 镀膜系统 可移动式 侧壁 连通 反射式高能电子衍射 玻璃观察窗 短距离移动 连接控制器 表征系统 晶体振荡 下方侧壁 依次连通 控制器 传样杆 电子枪 分子泵 分子束 观察屏 蒸发源 底壁 手阀 支架 | ||
【主权项】：
1.一种可移动式紧凑型超高真空镀膜系统，其特征在于，包括分子束外延主体(1)、不间断电源(2)、移动车架(3)和涡旋式干泵(4)，移动车架(3)上设涡旋式干泵(4)、控制器(42)和连接控制器(42)的不间断电源(2)，分子束外延主体(1)设在移动车架(3)顶部，并与涡旋式干泵(4)连通；所述分子束外延主体包括一个真空腔体(21)和连通在真空腔体(21)下方侧壁的分子泵(22)和小型溅射离子泵(23)，依次连通在真空腔体(21)上方侧壁的反射式高能电子衍射仪的电子枪(29)、玻璃观察窗(31)、传样杆(26)、观察屏(28)和用于连接晶体振荡仪的接口(32)；在真空腔体(21)的底壁和小型溅射离子泵(23)上方两侧分别设有分子束蒸发源及接口(24)；在真空腔体(21)上下侧壁设有手阀(210)和支架(211)。
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