[发明专利]p型半导体金属氧化物掺杂有序介孔氧化钨气敏材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910528843.1 申请日: 2019-06-18
公开(公告)号: CN110203974B 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 邓勇辉;肖杏宇;周欣然;马俊豪 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: C01G41/02 分类号: C01G41/02;C01G3/02;C01G51/04;C01G53/04;G01N27/12;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于先进纳米材料技术领域,具体为p型半导体金属氧化物掺杂有序介孔氧化钨气敏材料及其制备方法。本发明是通过溶胶‑凝胶化学合成法,以两亲性嵌段共聚物作为结构导向剂,亲水嵌段通过氢键以及配位作用与p型半导体过渡金属氧化物及氧化钨前驱物种在溶液中进行组装,经过溶剂挥发诱导共组装以及高温热处理,得到p型半导体金属氧化物掺杂的有序介孔氧化钨材料。该材料具有高度有序的介孔结构,高的比表面积和较大的孔径,其独特的介孔结构以及p‑n半导体异质结的作用,可用于制备的气体传感器,对硫化氢气体具有极好的灵敏度和选择性,超快的响应和恢复时间。本发明方法简单可控,适于放大生产,在气体传感领域具有广阔应用前景。
搜索关键词: 半导体 金属 氧化物 掺杂 有序 氧化钨 材料 及其 制备 方法
【主权项】:
1. 一种 p型半导体金属氧化物掺杂有序介孔氧化钨气敏材料的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:(1)将两亲性两嵌段共聚物作为模板剂溶解于易挥发的溶剂中,得到溶液A;在乙醇中加入无水六氯化钨和乙酰丙酮,搅拌均匀得到溶液B;将溶液A与溶液B混合搅拌均匀后加入p型半导体金属氧化物前驱体,得到混合溶液;混合溶液中,模板剂含量为0.5‑2wt%,钨前驱体含量为2‑10 wt%,乙酰丙酮含量为5‑10 wt%,p型半导体金属氧化物前驱体含量为0.5‑2.0wt %,其余为溶剂;(2)将上述混合溶液通过提拉、旋涂或者铺膜方法,使易挥发性溶剂挥发完全;待溶剂在20 ℃‑25 ℃挥发1‑2 h后再置于40‑70 ℃中24‑48 h进一步完全挥发溶剂,将样品至于 40‑150 ℃下烘烤6‑24 h,使之固化;(3)将固化后样品置于管式炉内,于氮气氛围中以1‑5 ℃/min升温至300 ℃‑400 ℃煅烧2‑4 h,再以1‑5 ℃/min继续升温至500℃‑700℃煅烧1‑3 h,得到p型半导体金属氧化物掺杂介孔氧化钨/碳复合材料;将得到的p型半导体金属氧化物掺杂介孔氧化钨/碳复合材料置于马弗炉中,于空气氛围中以5‑10 ℃/min升温至400 ℃‑600℃煅烧30‑120 min,得到p型半导体金属氧化物掺杂介孔氧化钨复合材料。
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