[发明专利]一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法

摘要

本发明属于气体标准物质制备领域，具体涉及一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法。高真空清洗装置包括集成管线系统、抽气系统、分析系统及控制系统；通过不锈钢波纹管线系统与气瓶连接，设计了两路抽气系统，通过机械泵先预抽后切换分子泵配合深度抽气，防止气瓶和管路中的常压气体对分子泵造成损伤；抽气系统连接质谱仪在线分析残余气体，可实时对气瓶清洗情况进行监控；本方案清洗过程中可在线增加气瓶而无需关闭泵组；可在气瓶瓶身环扣控温加热套，在抽洗同时对气瓶加热处理，有效去除气瓶中的残余水分和易吸附的杂质。采用本装置及方法抽洗的气瓶，真空度高，通过在线分析保证控制目标杂质组分余量达标。

主权项

1.一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：包括集成管线系统、抽气系统、分析系统及控制系统；所述集成管线系统包括若干两端均连接有控制阀的连接管，所述连接管一端的控制阀通过接头与待清洗气瓶连接；所述抽气系统包括转接组件，所述转接组件与连接管另一端的控制阀连接，转接组件分别设置带有控制阀的第一出口与机械泵连接，带有控制阀的第二出口与分子泵连接，第三出口通过管路与分析系统连通，所述分子泵出口通过带有控制阀的管路与机械泵入口连接；所述分析系统为带有电子倍增器的质谱仪；所述控制系统包括电源控制面板及分子泵控制器，所述电源控制面板设置有除分子泵以外的电气件开关，所述分子泵控制器设置有安装在转接组件内的真空计。