[发明专利]一种制备悬空的层状材料的方法在审
申请号: | 201910529796.2 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN112110443A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 黄元;罗海兰;赵林;周兴江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | C01B32/198 | 分类号: | C01B32/198;C22F1/08;C22C9/00;C21D9/46;H01L39/24 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 郭广迅 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种制备悬空的层状材料的方法,包括如下步骤:(1)在基底上制备图案化的孔阵列,得到具有孔阵列的基底;(2)对所述具有孔阵列的基底进行氧等离子体清洗;(3)用胶带机械解理石墨或铜基超导材料,将胶带上的石墨或铜基超导材料贴附到经过步骤(2)清洗的所述具有孔阵列的基底上,并进行热处理;(4)热处理完成后,冷却至室温,随即从所述具有孔阵列的基底上剥离胶带,从而在所述具有孔阵列的基底上制得悬空的层状石墨烯或铜基超导材料。本发明的方法能够制备悬空的大面积的单层和薄层材料。同时,本发明的方法步骤少、简单易实现、制备效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 悬空 层状 材料 方法 | ||
【主权项】:
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