[发明专利]感光性树脂组成物以及使用其的图案化方法有效
| 申请号： | 201910530139.X | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110824837B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陈旻裕;楼家豪;邱贞文 | 申请（专利权）人： | 新应材股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 韩果 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种感光性树脂组成物以及使用其的图案化方法，所述感光性树脂组成物包括聚羟基苯乙烯树脂、感光剂、交联剂、遮光剂、添加剂以及溶剂，其中遮光剂选自由姜黄素、苯亚甲基酯系化合物、苯并三唑系化合物、二苯甲酮系化合物、乙酰苯胺(Oxalic anilide)系化合物、苯甲酸酯及水杨酸苯酯所组成群组中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组成 以及 使用 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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