[发明专利]一种检测装置、设备及方法在审
| 申请号： | 201910530270.6 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110146260A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 黄继欣;张钧 | 申请（专利权）人： | 深圳市杰普特光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘亚飞 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区观湖*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种检测装置、设备及方法，属于激光技术领域。该检测装置，应用于检测垂直腔面发射激光器；所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；所述移动件用于移动所述相机；所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。在本申请实施例中，通过在不同位置处获取激光光束的图像，得到最小光斑以及激光光束的远场位置，进而可以准确的获得垂直腔面发射激光器的发散角以及激光的光束质量。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直腔面发射激光器 放大成像 激光光束 相机 检测装置 位置处 移动件 种检测 激光技术领域 图像 共光轴设置 系统放大 相机连接 最小光斑 发散角 远场 申请 放大 激光 检测 移动 应用 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置，其特征在于，应用于检测垂直腔面发射激光器；所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；所述移动件用于移动所述相机；所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。
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