[发明专利]一种曝光装置、光刻设备及太阳能电池电极的制备方法有效
| 申请号： | 201910531041.6 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN112114499B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 陈勇辉;张为国;唐世弋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种曝光装置、光刻设备及太阳能电池电极的制备方法，属于光刻技术领域，该曝光装置的工作台的能够兼容柔性待曝光样品和非柔性待曝光样品，以使曝光装置即能够对柔性待曝光样品，也能够对非柔性待曝光样品进行曝光，从而能够提供生产效率和制备良率，以及降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 装置 光刻 设备 太阳能电池 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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